标签：OPC-UA

结合工业控制系统在韩国VPS半导体真空泵上实现实时监测

1.总体架构与数据流设计 • 边缘PLC/RTU（如Siemens/Beckhoff）通过OPC-UA或Modbus-TCP采集真空泵数据。 • 使用工业网关将数据转成MQTT或OPC-UA推送到韩国VPS中的Broker/SCADA。 • VPS运行InfluxDB作为时序库，Grafana提供实时可视化仪表盘。 • 通过TLS/VPN建立网

2026年8月20日

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